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近日，为进一步推进校企合作、促进职业教育与高新技术产业深度融合，全国先进半导体行业产教融合共同体在邓建平院长的带领下，组织教师团队前往中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称“中科院苏州纳米所”）及凯西德研究院进行参观和交流。本次活动围绕集成电路光刻工艺展开，旨在学习产业技术前沿经验，助力职业教育创新与区域经济高质量发展。
在中科院苏州纳米所，团队考察了微纳工艺线的能力及其在半导体制造中的具体应用。苏州纳米所详细展示了包括外延生长、光刻工艺、刻蚀、高精度薄膜沉积与剥离、MEMS器件封装等在内的全流程工艺能力。同时，通过对轮廓仪、四探针测试仪和扫描显微镜等专业检测设备的演示，进一步展现了其在工艺检测方面的完善体系。
中科院苏州纳米所加工平台主任曾中明和培训部部长曾春红特别介绍了其开放式微纳加工平台的建设情况，并邀请职业大学团队参与其中，共同探索产教融合的新路径。双方围绕教育资源共建、产业技术培训及联合研发平台等议题展开深入讨论。希望以此次调研为契机，联合苏州纳米所开发“立体化产教融合课程体系”，设计适配职业院校需求的模块化工艺课程，助力学生从理论到实践的全方位培养。
在凯西德研究院，团队参观了集成电路光刻工艺的核心环节及其技术应用。研究院系统地展示了光刻工艺从底膜准备、涂胶、曝光、显影到后烘等流程，通过详细讲解与实际操作演示，突出展示了光刻工艺在芯片制造中的重要作用。
凯西德研究院还分享了其在“开放型区域产教融合实践中心”建设中的经验，介绍了“每生一芯”计划的具体实施路径。从版图设计到光刻工艺的学习，再到企业协同完成后续加工，该计划为职业院校的技术型人才培养提供了可借鉴的模式。团队还参观了桌面级光刻设备，了解到其高精度、低成本、易维护的特点，这类设备广泛应用于教学环境，为校企合作中的学生实训提供了坚实的技术支撑。此外，凯西德研究院通过展示黄光洁净室与多人工协作的实训场景，强调了场景化教学在培养高素质技能型人才方面的重要意义。
通过此次交流，苏州市职业大学与苏州纳米所及凯西德研究院进一步深化了合作关系。双方在探讨中达成共识，将以光刻工艺为切入点，探索基于实际生产需求的校企联合研究项目，为集成电路领域的技术创新和高端技术人才培养提供支撑。
此次调研活动不仅让团队深入了解了光刻技术与微纳工艺的最新进展，拓展了职业教育在高新技术领域的思路，还为推动产教融合、优化职业教育人才培养模式提供了实践经验。未来，苏州市职业大学将持续加强与苏州纳米所及凯西德研究院的合作，构建集成电路教育与产业协同发展的新生态，为区域经济和高新技术产业输送更多高质量技术人才。